气密测试仪-仪器校准性能因数-如何校准？
性能因素：是用来表述仪器区分合格件和不合格件的能力的一个量化参数。
例如： 标准件（不漏件）的压降＝10mBar ， 标准件+漏孔（模拟泄漏件）的压降 ＝100mBar ，那么合格件和不合格件的区分度就是 90mBar 了， 性能因素 ＝ (100-10)/100 ＝ 90％ ＝90PF . 数值越大说明区分得越明显。
最关键的一个区分能力是这样算的： （ 标准件+漏孔的压降 － 标准件的压降 ）> 0.3mBar ，那么这个测试是非常可靠的了。 用户只要看 <校准：plr> 菜单下的数据自己知道区分能力即可放心使用。 如果区分能力达不到0.3mBar 则要调整测试节拍即可达到最优的区分能力。
仪器中的PF只是一个给用户做参考的值，根本不影响仪器的测试能力的。 这个PF的计算方法也不止上面描述的一种。可以扩展到两到三种。 CTS的算法是和用户的判断标准关联的，判断标准调得越低PF算出来就越低。它仅是一个死板的参考值，不影响任何东西。
1. 最小PF 这个参数设立的目的是怕客户在校准时出错，比如漏孔没有打开。系统不稳定等，仪器就能识别出来，避免校准出差错。
2. 现在部分客户对校准的了解，不需局限于PF具体是多少，只要根据 漏和不漏的压降差大于 0.1 ~ 0.3mBar 这个原则就可以快速判断仪器工作得可不可靠。
3. 这个也是CTS直压比差压好的一个地方，CTS的传感器可以精确地测试压降并且能测出非常大的压降，这是差压机器所不具备的重要特性。
CTS的算法是和用户的判断标准关联的，判断标准调得越低PF算出来就越低。 然后把仪器的判断标准设为4sccm再校准一次，这时pf应该会高一倍。
1. 冷机第一次测试压降会偏大.
2. 冷机校准算出来的PF会低。
3. 所以 还是建议 校准的时候先正常地按工作的状态先测试两三次然后再校准。
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