常用测试压力、泄漏量单位换算表
压力与流量单位全解：压力换算、气体流量单位区别（NL/min、SCCM、cc/min）
一、压力基础定义与三者关系
绝对压力：以完全真空为基准的差值，是测量位置的实际压力；
表压力：气体数值与当地大气压力的差值；
大气压力：由大气重量产生的压力，标准大气压力为 29.92 寸汞柱。
二、常用压力单位换算（标准状态）
三、流量单位详解：NL/min、L/min、SCCM、cc/min 区别与换算
1. 气流量核心单位：NL/min（标准升每分钟）
NL/min 是标准状态气流量单位，指0℃、1 个标准大气压、相对湿度 0% 下的气体流量；
换算关系：1NL/min=0.060 标立方，1000NL/min=1Nm³/min=60Nm³/h（Nm³/h 为标立方，标准状态排量）。
2. L/min 与 NL/min 的区别
L/min：普通体积流量单位（升每分钟），无标准条件限制，仅表示单位时间内流体体积；
NL/min：标准升每分钟，强制限定 0℃、1 标准大气压 标准条件，二者无直接换算关系。
3. 气体流量：SCCM 与 cc/min 的区别
SCCM：标准状态（23℃、1 个大气压）下的体积流量，也叫质量流量，多用于精密测漏、化学反应（如 CVD），1ml/min=1SCCM；
cc/min：实际应用中与 SCCM 无差异，压差式测漏仪显示二者均为标况流量；
换算：1SCCM=1 秒・立方厘米≈1.66667×10^(-7) 分钟・立方米。
4. 流量换算实例
液体水流量：300L/MIN（升每分钟），换算每小时立方：300×60÷1000=18 立方米 / 小时。
一、压力定义与关系
绝对压力：以真空为基准，真实压力
表压力：与当地大气压的差值
标准大气压：29.92 寸汞柱
二、压力单位换算
三、气体流量单位速查
1）NL/min（标准升 / 分）
标准状态：0℃、1atm、湿度 0%
1 NL/min = 0.060 标立方
1000 NL/min = 1 Nm³/min = 60 Nm³/h
2）L/min vs NL/min
L/min：普通体积流量（无状态）
NL/min：标准状态流量
无固定换算（取决于温度 / 压力）
3）SCCM / cc/min
SCCM：标准状态 (23℃/1atm) 质量流量
1 ml/min = 1 SCCM
1 SCCM ≈ 1.66667×10⁻⁷ m³/min
测漏仪：SCCM ≈ cc/min（基本等同）
四、常用换算示例
液体：300 L/min = 18 m³/h
气体：1 NL/min = 0.060 标立方